納(nà)隆類金(jīn)剛(gāng)石碳基塗層因其高(gāo)的抗腐蝕(shí)性、化學惰性、抗磨 損(sǔn)性和低的摩擦係(xì)數等優異性能,被廣(guǎng)泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層(céng)中摻雜 Si 元(yuán)素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的(de)摻入 量,沉積低應力的多層結構(gòu)。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐(fǔ)蝕離子的擴散(sàn)路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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