一、DLC類金剛石塗層工藝流程

1、工件（jiàn）基（jī）體處理。這一步是比較重要的，將工件拋光到小於Ra0.2um,塗覆處理後的工件才可得到滿意的（de）表麵質量，這對成形一些（xiē）具有光學性（xìng）能（néng）要求的零件是非常重要的，類似成形（xíng）光學鏡頭（tóu）和（hé）成形LED零件等。操（cāo）作的時候需要注意基體表麵處理不能留（liú）有死角，這影響到膜層是否（fǒu）能與基（jī）體牢固地結合。

2、充（chōng）分清洗。將要塗覆的工件進行充分清洗，塗覆的母材、質量水平和（hé）幾何形狀決定了清洗的工藝。工件裝（zhuāng）在設定（dìng）的夾具上，夾具是在使腔體裝載尺寸優化和保證塗覆均勻的基礎上設計的。清洗方（fāng）法為真空室抽真空至10-6托(高真空)來排除係統中的任何汙染物，真空（kōng）室（shì）中通入惰性氣體並使其離（lí）子（zǐ）化，導致產生（shēng）輝光放電(等離子體)，這是氣體清洗階段（duàn）使零件做好金屬沉澱準備。

3、金屬沉澱。在用於沉澱的固體金屬上（指靶材）加（jiā）載高（gāo）電流、低電壓（yā）電弧，金（jīn）屬（shǔ）被蒸發（fā）並且瞬間離子化，屬離子在高能量的作用下通過惰性氣體或活性氣體進入腔體並沉澱在工件上。在金屬沉澱過程中蒸發了的金屬(靶材)保持不變。在激（jī）活的（de）沉澱（diàn）過程中，改變氣體的體積或種類將會改變膜層的性質，形成像碳化物、氮化（huà）物或氧化物的陶瓷。同樣，通過改變靶材的材質也可以產生不同的膜層。

二、類金剛石塗（tú）層的質量檢驗

　　塗覆完成後，就要對成形工件的膜層質（zhì）量進行檢驗，檢測膜層厚度是否均勻（yún）、工件的光澤、膜層是否出現分層及尺寸是否在（zài）控製範圍內。如果膜層出現問題（tí）、厚度超差、結（jié）合力不強等問題需要及時解決，下麵我們來了解一下相應的解決辦法是什麽吧!

1、檢（jiǎn）驗膜層均（jun1）勻度

　　檢驗成形（xíng）後的膜層如果出現光（guāng）澤不均勻、有花紋，應該是靶材的材質的純淨度不夠，雜質多就（jiù）會導致膜層不均勻。也可（kě）能是塗覆設備（bèi）的故障（zhàng）。

　　解決辦法：所（suǒ）以如果檢驗出了膜層的問（wèn）題可以先檢測設備是否故障，如果設備穩定正常的話則必須更換（huàn）靶材。

2、檢驗膜層（céng）厚度

　　檢驗膜層時如果發現厚度超差的情況，可能是處理（lǐ）時間過長或（huò）過短所導致的。

　　解（jiě）決辦法：在設備穩定正常的情（qíng）況下，膜層的厚度都是取決於成形的工藝時間，所以如（rú）果出現膜層超差的情況隻要（yào）調整處理時間就可以了。

3、檢驗結合力

　　檢驗膜層和（hé）工件基（jī）體之間的結合力，結合力不（bú）強會出現分層現象。導致這種問題的原因很多，比如工件清（qīng）洗得不（bú）幹淨、不徹底，工件的基體沒有拋光到工藝要求或者（zhě）存在（zài）缺陷，成形工藝（yì）參數不合理等。

　　解決辦法：如果出現這（zhè）種情況（kuàng）的話需要一一排除（chú），找到真正的原因，從而解決基體與膜層分層的問題，有時需要在工（gōng）件上預先塗覆一層金屬來消除基體本身（shēn）的缺陷。