類（lèi）金剛石碳膜作為新型的硬質薄膜材料具有一係列（liè）優異的性能，如高硬度、高（gāo）耐磨性、高熱導率、高電阻（zǔ）率、良好的光學透明性、化學惰性（xìng）等，可較為用於（yú）機械（xiè）、電子、光學、熱學、聲學、醫學等領域，具有良好的應用前景。我（wǒ）們開發了等離子體-離子束源增強沉（chén）積係統，並同過該係統中的磁過濾真空陰（yīn）極（jí）弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發。該項技術較（jiào）為用於電子、裝飾、宇航、機械（xiè）和信息等領域，用於摩擦、光學功能等用途。我國技術正處於發展（zhǎn）和完善階段，有巨大市場潛力。DLC塗層（céng）可以應用於鑽頭和銑（xǐ）刀上，特別是摻（chān）雜金屬的DLC膜（mó），它有高的硬度（dù），有低的摩擦係數（shù）、抗有色（sè）金屬粘結。目前在科技的發展過程中也衍生DLC類金剛石碳膜（mó）很多種類。

一、WCC塗層

Me-DLC塗層具有很低（dī）的內（nèi）應力，因此，該種塗層具有很好的塗層結協（xié）力。但目前最常用的方法是加進鎢元素(W)，形成W-DLC(也可以是W-C:H或者a-C:H:W)。由於與其他元素相比，W-DLC塗層具有相對較低的摩擦係數(通常在0.1~0.2，幹式)，從而具有很好地耐磨損性（xìng）能，以及良好的（de）耐（nài）轉動（dòng）接觸疲憊性（xìng）能。

二、含氫DLC塗（tú）層

含氫類DLC塗層具有相對高的顯微硬度(般在2000~3000HV)和極低的（de）摩擦係（xì）數0.05~0.15。通過PA-CVD方法製備的含氫DLC塗層表麵粗（cū）糙度非常低。最近，它們已經成（chéng）為汽車引擎零部件，如（rú）杆、活塞杆和各種柴油噴射係統零部（bù）件塗層的產業標準。

三、無氫類DLC塗層

另一類DLC塗層，ta-C塗層正在越來越引起人們的愛好。由（yóu）於此類（lèi）塗層具有非常高的硬度及非（fēi）常好的耐摩擦性能。另（lìng）外，無氫類ta-C塗（tú）層結合某些潤滑劑能夠明顯減少摩擦，例如在尼桑汽車的發動機氣閥機構上就有此類技術（shù）的應用。此類DLC塗層一般通（tōng）過石墨靶的電弧蒸發來獲得。塗層的特點是具有（yǒu）非常高的硬度值，一般在4000~7000HV，並且幾乎不（bú）含氫。所以常把此類塗（tú）層叫（jiào）做無氫類（lèi）DLC塗層。在ta-C類DLC塗層中，碳原子以類似（sì）水晶體4晶點結構(四麵（miàn）體)為主體。DLC塗層發展至今，其發展速度是非常快，其優良的塗層性能（néng）使其得到了更大的生存空間，我們相信於此之後肯定還有更大（dà）的發展。