自1980年以來,類金剛石塗層作為新型鍍膜技術一直廣(guǎng)受歡迎,而我國在(zài)這方(fāng)麵也取得(dé)了一些進展,但與發達國家相比仍然還有差距。
類金剛石塗層目前有(yǒu)很多種(zhǒng)類,一般類金剛石塗層分為氫化類金剛石碳膜(a-C:H)和無氫類金剛石碳膜(a-C)兩大類,由於其結構工藝機理(lǐ)極為複雜,目前DLC塗層在高溫下會出(chū)現穩定性問題,比如在超過400度後DLC塗層會存(cún)在很大的內應力,也會降低其結合力(lì),會是的DLC膜層出現起皺,脫落。
但是這也(yě)阻擋不了(le)DLC塗層由於特殊的結構,兼備鑽石(shí)性能,所以它同(tóng)時也擁(yōng)有很多優異的性能,比如DLC塗層的抗磨性、化學惰性、沉積溫度(dù)低、膜麵光滑,可(kě)以將其作為一些電子產品的保護膜。
類金(jīn)剛石DLC在電子行業的應用
如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的(de)表麵、電器中的音(yīn)膜(mó)、半導體行業(yè)的電路板加一層類金剛石膜 DLC 保護層、不僅能有效的減少機械損傷,又不影響數據存儲。
類金剛石膜(mó)具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力等性能。人們將類金剛石膜(mó)用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機械損傷,還可以在去除薄膜表麵的汙染物允許用較激烈的機(jī)械或化學腐蝕方法,且且同時不(bú)會破壞薄(báo)膜的表麵(miàn)。
采用(yòng)類金剛石膜和碳膜交(jiāo)替出現的多層膜結(jié)構構造成的多量子阱結構,具有共振隧道效應的和獨(dú)特的電特性(xìng),在微電子領域有(yǒu)著潛在的應用前景。類金剛石膜具有良好的表麵(miàn)平麵光滑(huá)度,電子發射均勻性好,即使在較低的外電場作用下,也可產生較大的發生電流,這個性能在(zài)平板顯示器中有著特殊的使用價值。
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