DLC膜層(céng)的機械、電學、光學和(hé)摩(mó)擦學特(tè)性類似於金剛石,導熱性是銅的2~3倍,且透明度高和化學(xué)穩定性好(hǎo),具有極高的硬度、良好的抗損、優異的化學惰(duò)性、低介(jiè)電常數、寬的光學帶隙以及良好的生物相容性等特性,通常厚度為2~4μm,表麵硬度可達2500HV,且具有極低的摩(mó)擦因數(0.04,是鋼的(de)1/5)。
DLC膜層具有高硬度和高彈性模量,同時具有熱導率高、耐腐蝕、耐磨(mó)損以及(jí)良好的真空摩擦學特性,所以很適合於作為(wéi)耐磨塗層。目前製備DLC薄膜的方法很多,工藝溫度可低至100~250℃目前(qián)對DLC膜層尚無明確的定(dìng)義(yì)和統一的(de)概念(認為達到天然金剛石硬度、20%的絕緣無定形碳膜就稱為DLC膜層)。不同的製備(bèi)方法與不同的沉積方法製備的(de)DLC膜層硬度(dù)差異很(hěn)大,因sp2/sp3以及氫含量不同,薄膜的(de)力學性能也不同。
DLC塗層是一種類金剛石(shí)塗層,具有高硬度、低摩擦係數、良好的耐磨性和化學穩定性等(děng)優點,常用於刀具、模(mó)具、汽車零(líng)部件等領域的表麵處理。DLC塗層的加工工藝流程一般包括(kuò)以下幾個步驟:
1.預處(chù)理:對基材進(jìn)行清洗、拋光等處理,以(yǐ)去除表麵的汙垢(gòu)、氧化物和粗(cū)糙度,提高塗層的附著力。
2.等離子(zǐ)體預處理:使(shǐ)用等離子體技術對基材表麵進行活化處理,增加表麵能,提高塗層的附著力。
3.後處理:對塗層進行拋光、等處理,以(yǐ)提高表麵光潔度和精度。
4.塗層沉積(jī):采用物理氣相沉(chén)積等方法,在(zài)素材表麵沉(chén)積DLC塗層。
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