半導體晶片加工的遊星輪，遊星輪上（shàng）均布有多個用於放置（zhì）半導體晶（jīng）片的孔位,其中一個所述孔位的一側設置有用於判斷半導體晶片起始放入位置的標識，以所述標（biāo）識為起點按一定的規則順序依次將半導（dǎo）體晶片放入相應（yīng）的所述孔位中。本實用新型準確的記錄（lù）了晶片在遊星輪中的實際位置，避免了晶片在（zài）遊星輪中的無序擺（bǎi）放。而半導體專遊星輪（lún）在使用中遇到（dào）輪齒損耗快，易（yì）變性易被空氣腐（fǔ）蝕，導致使用壽命短的問題，而DLC類金剛石塗層工藝（yì）可以解決以上問題。

DLC塗層又稱類金剛石塗（tú）層，硬度高(>HV2200)，幹摩擦係數低(0.05-0.1)。是一（yī）種無油自潤滑塗層。DLC塗層厚度可達到0.55um，並以最新工藝使產品具有良好的潤滑、散熱（幹式）、絕緣防靜電、化學性能穩定（dìng）等性能，使工件壽命可增加5-10倍，可提高600％工作效力，從而降低生產（chǎn）成本。

做了DLC處理的不鏽鋼遊星輪對（duì）酸堿具有良好的抗腐蝕能力（lì），適用於在磨拋過程含有酸堿性（xìng）工藝的產品使用。耐磨（mó）性強以不（bú）鏽鋼（gāng）遊星輪實際工作為例，連（lián）續工作 8500 轉;表麵無磨損,產品的表麵維氏硬度達到 HV2800以上，由（yóu）於（yú）遊星輪跟其他工件摩擦，容易產生靜電，而做了DLC塗層有（yǒu）防靜電絕緣性能，從而保護半導體芯（xīn）片。從而，提高了（le）半導體晶片加工的遊星輪的使用壽命。