防靜電 DLC 塗層是一種具有防靜電功能的類金剛石碳(tàn)塗層,以下是關於它的介紹(shào):
原理
增加電子傳導通道:通過調整(zhěng) DLC 塗層的成分或結構,引(yǐn)入具有良好導電(diàn)性的物質或形成特定的微觀結構,為電子提供傳導通道,使物體表麵產生的(de)靜電能夠快速(sù)傳導到其他部位,避(bì)免靜電積聚。
降低表麵電阻:改變塗層表麵的電學性質,使(shǐ)表麵電阻降低到一(yī)定程度,從而讓靜電能夠更容易地散(sàn)逸。
性能特點
防靜電性能穩定:可將靜電放電值(ESD)穩(wěn)定在一定範圍內,如(rú)有的防靜電 DLC 塗層 ESD 平均值能達到 1e7ω/sq 以上。
兼具 DLC 塗(tú)層的優良特(tè)性:具有高硬度,維氏硬度測試值通常在 5000-9000hv 之間,能(néng)有效抵抗磨(mó)損;低摩擦係數,可減(jiǎn)少部件間的摩擦損耗;良好的化學穩定性,能抵禦酸、堿等化(huà)學物質的侵蝕。
絕緣性可調節:通過工藝控製和成分調整(zhěng),可使塗層在具有防靜電性能的同時,具備一定的(de)絕緣性能,滿足不同應(yīng)用場景(jǐng)對電學(xué)性能的要求。
應用領域
半導(dǎo)體行業:用於半(bàn)導體生產設備、晶圓承載(zǎi)器、夾具(jù)等,防止靜電對半導體芯片、電子(zǐ)元器件造成損害,保證生產(chǎn)過程的穩定性和(hé)產品質量。
電子設備製造:如手機、電腦、平板(bǎn)等電子設備(bèi)的外殼、內(nèi)部零部件,可防止靜(jìng)電積累導致的電路故障、屏幕靜電吸附灰塵等(děng)問題,提升設備的性能和可靠性。
光學領(lǐng)域:在光學鏡頭、顯示屏等表麵塗覆,既能防靜電又能保護光學元(yuán)件,減少灰塵吸附,提高光(guāng)學性(xìng)能和(hé)顯示效(xiào)果。
醫療(liáo)設備:醫療儀器、手術器械、醫療植入物等表麵使用防靜電 DLC 塗層,可防止靜電對人體組織和電子元件的不良影響,同時利用其生物相容性和耐磨性等特性,提高醫(yī)療設備(bèi)的(de)安全性和使用壽命(mìng)。
製備(bèi)方法
物理氣相沉積(PVD):如濺射法、電弧離子鍍等,將碳源物(wù)質蒸發或濺射到基底表(biǎo)麵形成 DLC 薄膜,通過控製工藝參數和添加特(tè)定(dìng)元素,實現防(fáng)靜電性能。
化學氣相沉積(CVD):如等離子增(zēng)強化(huà)學氣相沉積(PECVD),在沉(chén)積過程中引入射(shè)頻等離子體(tǐ),增強反應活性,在相對較(jiào)低的溫度下生長出具有防靜電功能的 DLC 塗層(céng)。
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