防靜電 DLC 塗層是一種具有防靜電功能的類金剛石碳（tàn）塗層，以下是關於它的介紹（shào）：

原理

增加電子傳導通道：通過調整（zhěng） DLC 塗層的成分或結構，引（yǐn）入具有良好導電（diàn）性的物質或形成特定的微觀結構，為電子提供傳導通道，使物體表麵產生的（de）靜電能夠快速（sù）傳導到其他部位，避（bì）免靜電積聚。

降低表麵電阻：改變塗層表麵的電學性質，使（shǐ）表麵電阻降低到一（yī）定程度，從而讓靜電能夠更容易地散（sàn）逸。

性能特點

防靜電性能穩定：可將靜電放電值（ESD）穩（wěn）定在一定範圍內，如（rú）有的防靜電 DLC 塗層 ESD 平均值能達到 1e7ω/sq 以上。

兼具 DLC 塗（tú）層的優良特（tè）性：具有高硬度，維氏硬度測試值通常在 5000-9000hv 之間，能（néng）有效抵抗磨（mó）損；低摩擦係數，可減（jiǎn）少部件間的摩擦損耗；良好的化學穩定性，能抵禦酸、堿等化（huà）學物質的侵蝕。

絕緣性可調節：通過工藝控製和成分調整（zhěng），可使塗層在具有防靜電性能的同時，具備一定的（de）絕緣性能，滿足不同應（yīng）用場景（jǐng）對電學（xué）性能的要求。

應用領域

半導（dǎo）體行業：用於半（bàn）導體生產設備、晶圓承載（zǎi）器、夾具（jù）等，防止靜電對半導體芯片、電子（zǐ）元器件造成損害，保證生產（chǎn）過程的穩定性和（hé）產品質量。

電子設備製造：如手機、電腦、平板（bǎn）等電子設備（bèi）的外殼、內（nèi）部零部件，可防止靜（jìng）電積累導致的電路故障、屏幕靜電吸附灰塵等（děng）問題，提升設備的性能和可靠性。

光學領（lǐng）域：在光學鏡頭、顯示屏等表麵塗覆，既能防靜電又能保護光學元（yuán）件，減少灰塵吸附，提高光（guāng）學性（xìng）能和（hé）顯示效（xiào）果。

醫療（liáo）設備：醫療儀器、手術器械、醫療植入物等表麵使用防靜電 DLC 塗層，可防止靜電對人體組織和電子元件的不良影響，同時利用其生物相容性和耐磨性等特性，提高醫（yī）療設備（bèi）的（de）安全性和使用壽命（mìng）。

製備（bèi）方法

物理氣相沉積（PVD）：如濺射法、電弧離子鍍等，將碳源物（wù）質蒸發或濺射到基底表（biǎo）麵形成 DLC 薄膜，通過控製工藝參數和添加特（tè）定（dìng）元素，實現防（fáng）靜電性能。

化學氣相沉積（CVD）：如等離子增（zēng）強化（huà）學氣相沉積（PECVD），在沉（chén）積過程中引入射（shè）頻等離子體（tǐ），增強反應活性，在相對較（jiào）低的溫度下生長出具有防靜電功能的 DLC 塗層（céng）。