1、硬度及彈性模量。

類金剛石塗層（céng）（DLC），是一種四麵非晶體（tǐ）碳,其sp3鍵含量為80%~90%，sp³與sp²鍵的比值較高（gāo），膜（mó）層（céng）內的成分對膜層（céng）的硬度有一定的影響， Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低（dī）於金（jīn）剛石（110GPa），但（dàn）明顯高於一般金屬和陶瓷的彈性（xìng）模量。

2、內應力和結合強度。

薄膜的內應（yīng）力和結合強度是決定薄（báo）膜的穩定性和使用（yòng）壽命，影響薄膜性能的兩個重要因素（sù），內應力高和結合強度低的DLC膜容（róng）易在應用中產生（shēng）裂（liè）紋、褶（zhě）皺，甚至脫落（luò），所以製備的DLC膜最好具（jù）有適中的壓（yā）應力和較高的結合強度。大部（bù）分研究表明，直接在基體上沉積的DLC膜的膜基結合強度一般比較低（dī），通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結合強度，在（zài）模具鋼上沉積DLC膜的結合強度達44N-74N，製備的膜導總體厚度可（kě）達5um。

3、摩擦性能
DLC膜不（bú）僅具（jù）有優異的耐磨性，而且具有很低的摩擦係數，一般（bān）低於0.05，是一（yī）種優（yōu）異的表麵抗磨損改性膜。DLC膜（mó）與傳統（tǒng）的硬質薄膜相（xiàng）比，在摩擦係數方麵具有明（míng）顯優勢（shì），這些傳統硬質薄膜的摩擦（cā）係數都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在許多摩擦學領域替代這些傳統硬膜。製備的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損（sǔn）性能及低達（dá）0.13-0.15的摩擦係數。

像微型機械驅動器具（jù）有運（yùn）動的部分，如（rú）微型發動機（jī）、齒輪、軸承，在（zài）運行過程中會（huì）經曆表麵的緊密接合。在微尺（chǐ）度下，粘性剪切力特別高，所以液態潤滑劑不再是降低摩擦的有效途徑。以Si為基礎（chǔ）的微（wēi）型電動機、微型發動機僅能（néng）正（zhèng）常運（yùn）行幾分鍾接著就會因為摩擦而導致崩潰。DLC塗層擁有很低的摩擦係數並且磨耗率(每單位滑動距離（lí）的磨耗量)也（yě）很低，使它們成為MEMS設備理想的固（gù）態潤滑（huá）劑。實驗階段的線性電動機，滑動件表麵（miàn）覆蓋了5~15nm厚的DLC層（céng），延（yán）長了部件（jiàn）的使用（yòng）壽命（mìng）至(15~80）×106個周期。盡管大多數的MEMS馬達並不應用於（yú）腐蝕性的空氣環境中，但它們還是會通過物理吸附作用來接觸到外界腐（fǔ）蝕環境，這個過（guò）程則會使材料的摩擦耐磨性能（néng）產（chǎn）生相（xiàng）當大的波動。四麵體非晶碳膜(ta-C)在這方麵的表現（xiàn）比含氫非晶碳膜（mó）(a-C：H)優越，它們的摩擦係數在真空及幹燥環境下較高，但卻在相當的範圍內表（biǎo）現得很穩定，即使在濕度增加的環境中也沒有顯著增加。

4、耐腐（fǔ）蝕性（xìng）
純DLC膜具有優異（yì）的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕（shí）它。但（dàn）摻雜有其他元素的DLC膜的（de）耐（nài）蝕性有所下降，這是由於（yú）摻雜的元素首先被侵蝕，從而破壞（huài）了膜的連續（xù）性（xìng）所致。