類金(jīn)剛(gāng)石具有比較高的(de)硬度、高導熱性、高絕(jué)緣性、良好(hǎo)的化學穩定性、從紅(hóng)外到紫外的高光學透過率和良好的減摩特性等。這與金剛石相似(sì),但(dàn)是,除減摩(mó)性能優良外,其它性能均低於金剛石膜。類金剛石膜可廣泛用於機械、電子(zǐ)、光學、熱學、聲學、醫學等領域(yù),並且作為(wéi)減摩耐磨塗層應用於航空航天、金屬加工、醫療器件等眾多領域。
類金剛石塗層DLC是(shì)由碳和氫組成的非晶態或納米晶態(tài)碳薄膜,具有類似天(tiān)然金剛石的結構和性質,DLC塗層(céng)的製備方法和應用因其結(jié)構和性質的差異而有所不同。
類金剛石(DLC)塗層的製備方法
化(huà)學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子束(shù)沉積(IBAD)、射頻(pín)等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)。
不同類型的DLC塗層
含氫(qīng)型(a-C:H): 含有(yǒu)較高比例的氫,具有較高的(de)抗刮擦性(xìng)和較低的摩擦係數。適用於工具塗層、軸承(chéng)等應用。
含碳(tàn)型(a-C):含有較低(dī)比例的(de)氫,具有較(jiào)高的硬度和耐磨(mó)性。適用於硬質塗(tú)層、光(guāng)學塗層等。
氮摻雜型(a-C:N):含有(yǒu)氮元素,具有改善塗層硬度和(hé)抗氧(yǎng)化性的特性。適用於工具(jù)塗層、摩擦件等。
矽摻雜型(xíng)(Si-DLC):含有矽元素,提高了塗層的化學惰性和熱穩(wěn)定性,適用於生物醫學、電子器件等領域。
類(lèi)金剛石(DLC)塗層(céng)的應(yīng)用領域
機械工業: 用於刀具、軸(zhóu)承、齒輪等(děng)零部件的表麵塗層,提(tí)高硬(yìng)度和耐(nài)磨性(xìng)。
醫學和(hé)生物醫學: 用(yòng)於生物醫學設(shè)備(bèi)、人工關節、植入物等,具有優異的生(shēng)物相(xiàng)容性。
電子器件: 用於塗層電子器件表麵,提高硬度、耐磨性和化學穩定性。
光學塗層(céng): 用於光學元件表麵,改善抗反射、硬度和耐磨性。
摩擦材料(liào): 用(yòng)於提(tí)高摩擦材料表麵的性能,如(rú)摩擦片、摩擦盤等。
新能源: 用於太陽能電池和鋰電池
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