DLC(類金剛石(shí))塗層的最薄厚度(dù)和耐溫性能因(yīn)其成分、製備工藝和應用需求的不同而有所差異。以下是(shì)綜合搜(sōu)索結果的分析:
1. DLC塗層的(de)最薄厚度
常規DLC塗層:通(tōng)常(cháng)在 0.5~3微米(μm) 之間。
超(chāo)薄DLC塗層:某些特殊應用(如裝飾鍍或精密電子器件)可低至(zhì) 0.5微米 甚至更(gèng)薄。例如,裝飾鍍DLC在接近 0.5微米時可能出現炫彩(cǎi)效應。
Ta-C(四麵體非晶碳)塗層:厚度可低至0.5微米,適用於高精度加工。
2. DLC塗層(céng)的耐溫性能
標準DLC塗層:一般(bān)工作溫度範圍為 100°C 至 350°C。超過 400°C 時,sp³鍵可能向sp²鍵轉變,導致性能退化。
矽(guī)摻雜(zá)DLC(Si-DLC):耐溫性顯著提高,可在740°C下保持穩定。
金屬摻雜DLC(如(rú)Ti、W、Cr):耐溫性有所提升(shēng),但具體數值(zhí)因(yīn)摻雜元素和比例而異。
Ta-C塗層:抗氧化溫度(dù)可達 550°C。
3. 影響DLC塗層性能的(de)關鍵(jiàn)因素(sù)
sp³/sp²鍵比例:sp³鍵占比越高,硬度越高,但脆性可能增加。
氫含量:含氫DLC(a-C:H)通常摩(mó)擦(cā)係數更低,但(dàn)耐溫性較差。
沉積工藝:PVD(物理氣相沉積(jī))和CVD(化學氣相沉積)會影響塗層的結構和性能。
結論
最薄DLC塗(tú)層:可低至(zhì) 0.5微米(如裝飾鍍或Ta-C塗層)。
最高耐溫DLC塗(tú)層:矽摻雜DLC可達 740°C,而標準DLC通常限於350°C。
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